真空加热炉通常指的是电加热炉，炉中的产品是由包围真空气氛包围进行处理，没有空气或其他气体可防止氧化，通过对流从产品中散失热量，并消除污染源。
大多数真空炉由石墨，陶瓷或金属制成的电阻元件加热，真空炉用于执行诸如的过程退火，钎焊，烧结和热处理，具有高稠度和低污染的优势。
真空系统工作时，先启动机械泵、维持泵和扩散泵（加热）同时打开前阀和维持泵阀，对扩散泵内进行抽真空。
当真空度达到系统某设定值时，罗茨泵启动，同时旁路阀打开，前阀关闭，此时对真空室进行抽低真空当扩散泵加热至规定温度并且真空度高于规定值时，高阀打开，旁路阀关闭，前阀打开。
此时对真空室抽高真空，达到工艺要求的真空度以后，方可进行热处理工作。热加工过程完成后，由热交换器对井式真空退火炉的真空室充入高纯氮气进行强制冷却，完成整个工艺过程。
其次，在真空条件下，碳具有很强的脱氧能力，其脱氧产物CO不断被抽至系统之外，克服了采用金属脱氧剂脱氧的污染问题，真空炉工艺可控制合金的化学成分，对于含有和氧、氮亲和力强的活性元素Al、Ti、B、Zr等，可控制在很少的范围内。
对低熔点易挥发的金属杂质，如Pb、Bi、Sn、Sb等能蒸发去除，这对提高材料性能起到重要作用，强烈的感应搅拌作用，能加速其反应速度，这对于熔池温度均匀、化学成分均匀等方面很有果。
