退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

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一、铝合金退火炉
首要用于铝合金、铝板、均热退火等热处理。
铝合金退火炉是台车式炉体、循环体系、导流设备、加热元件、装料小车、炉门升降组织及电器控制体系等组成。
二、井式真空退火炉
适用于盘圆线材，钢带等退火。在真空状态下加热退火,无氮化,无脱碳.使工件退火后坚持光亮。真空井式退火炉首要由炉体、炉胆、真空泵、循环风机及电器控制体系等部位组成。
三、多管式不锈钢丝光亮退火炉
由加热炉、冷却器、放卷和收组织以及电控体系组成。
首要适用于不锈钢丝，铜丝，铁丝等固溶处理光亮退火。 
四、井式退火炉
适用于盘圆线材，不锈钢丝、在拉伸前退火处理，少氧化,无脱碳.使工件退火后坚持整齐。 特点：可配置多只炉罐，多工位操作，节约人力资源，进步出产效率节约能源，下降出产成本。
台车式退火炉首要用于铜棒，铸钢件、汽车零部件、轧辊、钢球、金属结构件、焊接件正火、退火热处理之用。台车式退火炉首要由炉体炉门升降及密封设备、炉车、炉车传动组织、电加热设备、温度控制体系等首要部分组成。不需根底安装，放在水平地面即可运用。
五、罩式退火炉
本设备可广泛用于有色金属铜、铝合金和黑色金属、普碳钢、硅钢、合金钢等卷带、盘管、线材等退火，无氮化,无脱碳.使工件退火后坚持整齐。退火炉具有出产效率高、产品质量好、低耗能、无污染、自动操作、安全可靠等优点。   罩式炉由一个加热罩、两个炉座，阀架及电器控制体系等组成。
六、网带式不锈钢退火炉
由上料台、加热区、冷却段、氨分解炉、电器控制体系等部位组成。首要适用于各种不锈钢、铜、铁制品在保护气氛控制下进行接连光亮退火，固溶处理。