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分析退火炉常见故障都有哪些?

文章出处:公司动态 责任编辑:东莞市财源五金机械制造有限公司 发表时间:2022-11-15
  

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。下面,听一听分析退火炉一些常见故障有哪些?

退火炉

退火炉故障出现后,监控主画面上方会出现报警提示,根据提示内容可初步判定故障设备,报警具体如下:V101阀位报警、V105阀位报警、加热段煤气换向报警、加热段空气换向报警、保温段煤气换向报警、保温段空气换向报警。
其中,V101阀即加热段煤气快切阀,V105阀即保温段煤气快切阀,每一设备由动作部分和阀位反馈部分组成,动作部分由电磁阀带气动元件发生动作。
故障排查:出现上述报警后,首先查看报警设备在监控主画面上显示的颜色,确定其状态。
若快切阀显示为黄色,换向阀显示为红色“X”,即是行程不到位,检查行程是否脱离设备,若无脱离,可打开行程开关,检查行程内凸轮是否出现不到位情况,适当调整使之较大弧度处压上弹簧片即可。
若快切阀或换向阀显示为红色或绿色之一,可判定其行程正常,排查重点在动作部分,检查动作部分时,先于现场观察电磁阀两插头是否有一个亮灯,若两个都不亮,则为电气故障。
然后,若有一个亮,可把两插头取下,用亮的插头在两个电磁阀插座上轮流插拔试验,若汽缸不动作,则为机械故障。若汽缸动作,则为电气故障。
调节阀可参考其关联温度判断设备是否工作正常,若出现故障,先关闭电源控制柜内其工作电源,打开现场阀盖,在确认阀内模块不带电的情况下,用内六方扳手旋转阀体,若旋转感觉很卡,则为机械故障,若感觉旋转顺畅,则为电气故障。
此处模拟量指温度、压力和流量等。除空气总管压力和煤气总管压力外,其余模拟量不参与控制。
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